【摘 要】
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压电微位移驱动器是一种利用压电材料逆压电效应制作的微位移器,具有体积小,分辨率高,重复性好,不产生热等优点,然而压电驱动器也具有滞回、蠕变、严重的非线性等不良特性,给
【基金项目】
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国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，声纳技术重点实验室基金
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压电微位移驱动器是一种利用压电材料逆压电效应制作的微位移器,具有体积小,分辨率高,重复性好,不产生热等优点,然而压电驱动器也具有滞回、蠕变、严重的非线性等不良特性,给驱动器精确定位带来误差,使驱动器电压位移转换信号失真.为使压电驱动器输入输出具有线性度,常用的方法是对驱动电源进行电压补偿来实现线性化.这里提出一种实用新颖的电源线性化方法-基于迭代自学习控制(ILC)策略的线性化方法,该法具有在线、快速的优点,且可实现动态线性化补偿.
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