【摘 要】
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以柔性材料聚对苯二甲酸乙二酯（PET）为基底,在自行溅射的方阻为50Ω/□的氧化铟锡（ITO）导电薄膜上制备了结构为PET/ITO/NPB/Alq3/Mg∶Ag和PET/ITO/NPB/Alq3∶DCJTB/Mg∶Ag的绿色
【机 构】
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电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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“十一五”部级项目,电子科技大学“中青年学术带头人”基金资助项目.
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以柔性材料聚对苯二甲酸乙二酯（PET）为基底,在自行溅射的方阻为50Ω/□的氧化铟锡（ITO）导电薄膜上制备了结构为PET/ITO/NPB/Alq3/Mg∶Ag和PET/ITO/NPB/Alq3∶DCJTB/Mg∶Ag的绿色和红色器件,其最高亮度分别为18 cd/m^2和170 cd/m^2。利用原子力显微镜（AFM）表征了柔性ITO和有机薄膜的形态,结果表明,影响柔性电致发光器件性能的主要因素是ITO薄膜与PET基板的附着性问题,从而导致柔性基片在湿法刻蚀和清洗中ITO薄膜的剥离。另外,通过使用致密的氮
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