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从MEMS电容式加速度计基本原理入手，介绍了电容检测电路在传感器测控中的作用，并针对微电容检测时外部信号调节模式不同，归纳并分析了电桥法、电容分压检测法、调制型检测电路和开关电容检测电路等典型实用的微电容检测方法，对设计高灵敏度的电容检测电路提供了理论依据。
MEMS加速度计微电容检测技术研究
【摘 要】
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从MEMS电容式加速度计基本原理入手，介绍了电容检测电路在传感器测控中的作用，并针对微电容检测时外部信号调节模式不同，归纳并分析了电桥法、电容分压检测法、调制型检测电路和
【机 构】
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北方通用电子集团有限公司微电子部
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2014年3期
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