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文中推导了对于给定膜系的特定膜层的厚度变化的灵敏度因子计算公式，并给出了用计算机对不同膜系的计算实例。分析了厚度灵敏度因子对膜系透射光谱的灵敏谱段，灵敏膜层等特性的影响规律，并由此给出了确定膜层厚度允差的方法。
多层介质光学膜系的误差分析——膜层厚度变化的灵敏度因子
【摘 要】
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文中推导了对于给定膜系的特定膜层的厚度变化的灵敏度因子计算公式，并给出了用计算机对不同膜系的计算实例。分析了厚度灵敏度因子对膜系透射光谱的灵敏谱段，灵敏膜层等特性的
【机 构】
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哈尔滨工业大学航天工程与力学系
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1996年4期
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