论文部分内容阅读
采用微波等离子体化学气相沉积（MW-PCVD）制备的高纯、高度[100]取向金刚石薄膜作为敏感材料，制作出具有简单的金属／金刚石薄膜／Si三明治结构的原型X光辐射剂量计；用稳态X光源测试其光电响应，结果表明，在8kV／cm的偏压条件下，剂量计对X光辐射有明显的输出电流信号响应，并且其大小与入射X光强度间存在良好的线性关系，说明这种剂量计可以用于剂量的定量检测；但输出电流信号在开始测量后近20min时间内一直持续增大，反映出器件工作时所需的稳定时间长，响应速度慢，将影响其在实时监测上的应用，需进一步改进。