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低压气相金刚石薄膜硬质合金刀具在直流弧光放电等离子体CVD镀膜设备上制备。基底为YG6(WC-6%Co.质量分数)硬质合金刀具。采用洛氏(HRA)、表面洛氏(HRM)、维氏(HV)硬度试验机对所制备的金刚石薄膜刀具进行压痕测试;采用扫描电镜(SEM)观察压痕形貌并定性评价膜/基附着性能。结果表明:所制备的金刚石薄膜镀膜刀具的优选膜/基附着性能压痕测试方法是表面洛氏压痕法;优选测试条件为采用120°金刚石圆锥压头,测试加载载荷441N。