氮化铝薄膜作微波压电换能器的机电耦合系数测定

来源 :电子测量与仪器学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:skybey
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本文报道用微波压电换能器的输入导纳测定AIN压电薄膜机电耦合系数的方法。在微波频率下测得横向受夹厚度模AIH压电薄膜的机电耦合系数为O.13。这个结果略小于块材AIN的值,可能是由于所生长的AIN薄膜微晶C轴方向有—定的分散性和C轴反向性所致。从导纳测定结果上表明:抉能器中有一等效的串联电阻,这个串联电阻可用于说明匹配和调谐换能器存在损耗的原因。
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