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与CMOS工艺兼容的硅基光发射器件研究进展
与CMOS工艺兼容的硅基光发射器件研究进展
来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:skycat
【摘 要】
:
本文概述了近年来该器件的研究与进展,从发光机理、器件研制和应用前景等方面做了详细的叙述.
【作 者】
:
陈弘达
孙增辉
毛陆虹
崔增文
高鹏
陈永权
申荣铉
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,天津大学电子与信息工程学院
【出 处】
:
光电子·激光
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
Si基光发射器件
LEP
RBS
P-N结
CMOS
Si反偏P-n结
reverse bias silicom(RBS) p-n junction Si ba
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本文概述了近年来该器件的研究与进展,从发光机理、器件研制和应用前景等方面做了详细的叙述.
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