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对现在的化学气相沉积金刚石薄膜的方法和金刚石薄膜在器件中的应用进行介绍和评论。
CVD金刚石薄膜的制备方法及应用
【摘 要】
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对现在的化学气相沉积金刚石薄膜的方法和金刚石薄膜在器件中的应用进行介绍和评论。
【机 构】
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
【出 处】
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炭素技术
【发表日期】
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2002年3期
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