【摘 要】
：
在化学气相沉积(CVD)过程中运用COMSOL Multiphysics建立硅外延生长的层流模型,研究了不同气流设置条件下反应腔体内的气流状态和流速分布。通过优化流场设置,获得了稳定且均
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十六研究所硅外延材料事业部;
论文部分内容阅读
在化学气相沉积(CVD)过程中运用COMSOL Multiphysics建立硅外延生长的层流模型,研究了不同气流设置条件下反应腔体内的气流状态和流速分布。通过优化流场设置,获得了稳定且均匀的气流分布,同时,分析了气流分布对硅外延片生长速率和厚度均匀性的影响。利用LPE-3061D平板式外延炉进行了工艺验证,在重掺Sb衬底上进行硅外延沉积,在优化流场下制备出的硅外延片厚度标准偏差达到0.38%。
其他文献
目的:采用正交试验优化炒牛蒡子的炮制工艺。方法:建立了同时测定牛蒡苷和牛蒡苷元的高效液相色谱法;以牛蒡苷和牛蒡苷元含量为指标,采用两因素三水平正交设计优选炒牛蒡子炮
安全风险控制和隐患治理信息系统作为安全管理的一个有效工具,将其应用到水泥生产企业安全管理中,有助于推进科技强安,利用其系统化、信息化、网络化平台有效整合水泥生产企
金佛寺花岗岩体位于北祁连西段,目前在岩体接触带发现有大道口、青大坂、西柳沟、干巴河脑钨钼矿和索铜沟铅锌矿、松木沟铜矿等多处矿点,构成了一个以钨钼为主的多金属成矿带
运用SWOT分析法对云计算在军事领域的应用进行综合分析,指出其具有的优、劣势以及面临的机遇和挑战,得出了云计算应用于军事领域的若干发展策略。
目的:调查分析西藏工布江达县珍稀药用植物种类、分布,药用部位单株平均重量、现存量、蕴藏量,药用植物功效及经济价值。方法:采用野外实地线路踏查、样点-样方套-样方调查、
笔者通过对凤凰山森林公园植物的种类、多度、景观效果及病虫害等调查结果显示:公园现有木本植物133种、草本植物36种、竹类3种;山上白蚂蚁大面积发生。目前各种树种生长良好
为合理地评价和经营恩施州森林资源,依据1985,1994,1999和2006年4次森林资源调查资料,并结合20年来恩施州林业生态建设的重大活动情况,从森林面积、蓄积量、组成结构、质量等
本文研究所有权结构对创业板上市公司会计信息披露质量的影响,以实际控制人性质、控制层次、实际控制人所有权比例和股权集中度等变量度量所有权结构。结果表明,控制层次与会