大气压介质阻挡放电系统制备氟碳薄膜

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本文介绍了一种新的制备氟碳薄膜的方法,即利用介质阻挡放电系统电离工作气体来生成等离子体用以沉积氟碳薄膜。我们设计了一种以同轴结构为介质阻挡放电电极的实验装置(介质材料选用的是市面常见的石英管)在大气压条件下,以Ar气和C4F8混合气体为工作气体(比例为99:1,且两者的纯度都>>99%),通过气体放电产生等离子体来增强物理气相沉积技术成功制备出了氟碳薄膜。最后利用电镜扫描技术分析了薄膜的显微结构和性能、利用光谱仪分析了薄膜的主要成分。
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