【摘 要】
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简要地介绍了ECR等离子源设备的特点和测控要求,给出了以PLC为主实现设备控制的方法.系统的硬件由触摸屏(或上位机)、PLC控制器和信号调理电路部分构成;软件由二次开发的触摸
【机 构】
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中国科学技术大学自动化系,安徽,合肥,230027
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简要地介绍了ECR等离子源设备的特点和测控要求,给出了以PLC为主实现设备控制的方法.系统的硬件由触摸屏(或上位机)、PLC控制器和信号调理电路部分构成;软件由二次开发的触摸屏运行的组态监控软件、PLC运行软件以及可选的基于PC机的上位机软件组成.整个控制系统可实现现场手动操作、触摸屏(或上位机)手动操作及全自动控制运行,能进行等离子体参数如电子温度、离子密度、空间电位等的测量.
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