【摘 要】
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从原子尺度上去研究薄膜生长过程中温度对薄膜取向性、缺陷结构以及薄膜完整性的影响和作用规律,对于解释薄膜生长的物理本质、控制生长条件、提高薄膜制备的质量具有重要意
【机 构】
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东北大学理学院材料物理与化学研究所,沈阳工业大学理学院物理实验中心
【基金项目】
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教育部中央高校基本科研业务费(N100305001,N110205001,N110105001);国家自然科学基金(51172040)资助项目~~
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从原子尺度上去研究薄膜生长过程中温度对薄膜取向性、缺陷结构以及薄膜完整性的影响和作用规律,对于解释薄膜生长的物理本质、控制生长条件、提高薄膜制备的质量具有重要意义.本文应用基于反应力场的分子动力学方法研究了ZnO薄膜（000l）表面作为衬底的薄膜沉积生长过程,初步讨论了衬底温度（200、500和800K）变化对沉积较薄ZnO膜质量的影响,部分结果与实验观察相符.结果表明,衬底温度在500K左右时,沉积原子结构径向分布函数曲线特征峰尖锐、明显,有序度较高,注入和溅射对薄膜完整性影响较小,沉积形成的薄膜结构稳
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