【摘 要】
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In superconducting circuit,microwave resonators and capacitors are crucial components,and their quality has a strong impact on circuit performance.Here we devel
【机 构】
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National Laboratory of Solid State Microstructures,School of Physics,Nanjing University,Nanjing 2100
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In superconducting circuit,microwave resonators and capacitors are crucial components,and their quality has a strong impact on circuit performance.Here we develop a novel wet etching process to define these two components using com-mon photoresist developer as etchant.This method reduces subsequent steps and can be completed immediately after development.By measuring the internal quality factor of resonators,we show that it is possible to achieve similar or better performance when compared with samples made by standard etching processes.This easy-to-implement method may boost the yield hence providing an alternative fabrication process for microwave resonators and capacitors.
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