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卤素氟化物是一类反应活性很强的物质，在诸多领域中有重要作用。利用高分辨快电子能量损失谱仪，采用高分辨的dipole（e，e）方法可对卤素氟化物的分子荧光光谱振子强度进行了分析，其避免了光学测量过程中存在的精度低、效率低的缺陷。在21~26 eV的能量损失区域中，检测获取卤素氟化物卤素氟化物分子荧光光谱的11S→n1P跃迁以及电离过程的光学振子强度谱，并在59-67 eV和69-74 eV的能量损失区域中，分析卤素氟化物分子荧光光谱的自电离共振过程的光学振子强度谱，实验将得到的结果同前人研究成果进行对比分析