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宝石之王“金刚石”在工业应用中的尝试是旧课题又是新课题,人造金刚石已大量上市,若金刚石能用作半导体器件其影响将相当大,怎样才能实用化?其障碍何在?5年后能否实用化?实际的探索仍在继续。
金刚石用于半导体器件的探索
【摘 要】
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宝石之王“金刚石”在工业应用中的尝试是旧课题又是新课题,人造金刚石已大量上市,若金刚石能用作半导体器件其影响将相当大,怎样才能实用化?其障碍何在?5年后能否实用化?实
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1992年2期
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