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本文从理论上分析了衍射强度比偏差Δ(I/I∞)和衍射峰位偏差△2θ对Seemann-Bohlin准聚焦X射线衍射仪测量表面单层薄膜厚度误差的影响。分析结果表明,降低Δ(I/I∞)可提高膜厚的测量精度,在Δ(I/I∞)一定的情况下,按μρt[Sin^-1γ+Sin^-1(2θ-γ)]=1选择靶辐射和衍射晶面可使由Δ(I/I∞)导致的膜厚测量误差具有极小值;选择高角度衍射线有助于减小试样离焦引起的衍射