【摘 要】
：
研究了一种使用非光敏苯并环丁烯（BCB）材料的低温硅片级键合，并将其用于压力谐振传感器封装。采用AP3000作为BCB中的黏结促进剂，将谐振片与硅片或Pyrex7740玻璃晶圆键合，程序简单，
【机 构】
：
上海电子信息职业技术学院电子工程系
论文部分内容阅读
研究了一种使用非光敏苯并环丁烯（BCB）材料的低温硅片级键合，并将其用于压力谐振传感器封装。采用AP3000作为BCB中的黏结促进剂，将谐振片与硅片或Pyrex7740玻璃晶圆键合，程序简单，低成本，密封性能较高，且键合温度低于250℃。通过拉伸实验，这种键合的剪切强度高于40MPa。所以此硅片级键合适用于压力传感器的封装。
其他文献
伊维菌素(Ivermectin, IVM)是一种新型的广谱,高效,低毒抗生素类抗寄生虫药。目前,兽医临床应用的伊维菌素制剂体内血药浓度起伏大,导致其安全性和有效性均较低。亚微乳作为
近年来,跨海以及跨江工程是桥梁工程的又一热点,三塔悬索桥方案已经在我国跨长江的两座桥中采用。三塔大跨悬索桥中,桥梁的抗震能力、抗风能力和车桥振动问题可能是设计中的
随着科学技术的飞速发展，特别是网络技术的发展与普及，以及经济全球化进程的不断加快，企业进入了全球化市场阶段，市场的范围已经发生了很大的转变，同时企业的竞争对手已经不受空间
目的分析剖宫产不同断脐时机及位置对母儿的影响。方法选取2015年5月至2016年5月于深圳市福田区妇幼保健院行剖宫产分娩的1 200例产妇,用随机抽样法分为A、B、C、D 4组,每组
商务英语口语课程是高职商贸类涉外专业的核心课程,也是其他专业实现"全人素养"培养目标的一门重要的基础课程。在高职阶段开设商务英语口语课程并有效地实施该课程,让学生能
领导者个人素养如何，上关乎国家兴衰，下关乎个人荣辱。总结并借鉴中国古代有价值的领导素养理论，将有助于我们今天的社会主义精神文明建设。
本文通过一步法及分步法合成M-salen(N, N′-bis(salicyaldehydedoet hylene-diamine))金属配合物,主要的金属中心为锰、铁、钴、铜。并对salen配体及M-salen配合物进行了红
为了综合利用芦苇,本研究首先通过测量混合物温度,测得水泥—芦苇不同混合物温度曲线,研究了芦苇和水泥之间相适性的程度。进而研究了水泥芦苇碎料板的制备工艺,确定水泥芦苇
<正>由于通用财务报表提供的信息难以满足公司财务管理工作的需要,现在会计实务界普遍编制和使用管理用财务报表。但许多人并没有真正理解管理用财务报表,也不清楚它与传统财