二氧化锡非晶超微粒薄膜制备与薄膜性能的研究

来源 :化学研究与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hs20081987

【摘要】

：

我们用ＰＥＣＶＤ（等离子激活化学气相沉积）方法制备ＳｎＯ２薄膜，透射电镜表明４００℃下是非晶状态，扫描电镜测试表明颗粒度为３０ｎｍ，ＳｎＯ２薄膜的紫外可见反射吸收光谱中，沉积在石英上的ＳｎＯ２薄膜出现价带到导带本征吸收带

【作者】

：

王雅静姜月顺

【机构】

：

沈阳化工学院精细化工系,吉林大学化学系

【出处】

：

化学研究与应用

【发表日期】

：

1999年1期

【关键词】

：

薄膜二氧化锡气敏材料非晶薄膜 PECVD SnO2film Ultravioletspectroscopy Infraredspectroscopy Ga

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我们用ＰＥＣＶＤ（等离子激活化学气相沉积）方法制备ＳｎＯ２薄膜，透射电镜表明４００℃下是非晶状态，扫描电镜测试表明颗粒度为３０ｎｍ，ＳｎＯ２薄膜的紫外可见反射吸收光谱中，沉积在石英上的ＳｎＯ２薄膜出现价带到导带本征吸收带，可计算出非晶ＳｎＯ２薄膜禁带宽为３．５４ｅＶ，ＳｎＯ２薄膜红外光谱研究表明，ＳｎＯ２非昌薄膜随着加热温度升高，有序化程度程度升高，在３００℃明显出现５７２ｃｍ＾－１的ＳｎＯ２骨架

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