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期刊论文
叠层芯片的声学微成像技术
叠层芯片的声学微成像技术
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oep
【摘 要】
:
本文主要叙述了能够探测诸如各种剥离、裂纹和空洞的内部缺陷的声学微成像技术。
【作 者】
:
杨建生
【机 构】
:
天水华天科技股份有限公司
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2006年2期
【关键词】
:
声学成像
叠层芯片
内部缺陷
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本文主要叙述了能够探测诸如各种剥离、裂纹和空洞的内部缺陷的声学微成像技术。
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