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研究了一种新型的、应用于X波段的高隔离度RFMEMS电容式并联开关结构。相比于普通的并联结构，该开关通过共面波导（CPW）传输线与地平面之间的衬底刻槽结构将隔离度提高了7dB，关态时在13．5GHz谐振频率处的隔离度为-54．6dB，执行电压为26V。弹簧粱结构开关的执行电压下降为14V，在11GHz处其隔离度为-42．8dB。通过两个并联开关级联与开关间的高阻传输线构成的π型调谐开关电路，在11．5GHz处的隔离度为-81．6dB。