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将红外线吸收式气体分析计使用于SO2的检测目的时,检测器的室内的SO2和流量传感器的元件的Ni反应,产生流量传感器元件断线的问题。本发明的目的在于提供一种防止流量传感器的Ni元件的腐蚀,延长流量传感器的耐用期间的红外线吸收式气体分析计。推定出在Ni元件的正常部侧面仅表面附着有NiSO4,在腐蚀部NiS2生成到其深部。因此,Ni被SO2硫化而生成NiS:时,Ni被腐蚀到深部而造成断线,但即使Ni与SO2反应,如果作为NiSO4仅停留在表面而不发展到深部的话,就不会产生断线的问题。又,可知Ni在100℃以下作