【摘 要】
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<正>传统的机械零件由于受加工设备的限制,对面形精度的要求,如平面度,粗糙度,常规情况下,停留在微米量级。但随着实际需求的不断发展提高,人们对机械零件的加工精度要求开始
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<正>传统的机械零件由于受加工设备的限制,对面形精度的要求,如平面度,粗糙度,常规情况下,停留在微米量级。但随着实际需求的不断发展提高,人们对机械零件的加工精度要求开始向纳米量级迈进。不断提高的精度要求,带来了检测技术的更新要求。传统的检测手段,包括接触探针式,2D方式的检测方法,对检测纳米量级精度的机械零件有很大的局限性。ZYGO光学轮廓仪最初是应用在光学加工行业,其非接触、3D、高速、精密、可靠和稳定的特点,开始引起精密机械加工领域
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