【摘 要】
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本文通过实验和理论分析,对击穿电压蠕变的机理进行了探讨.认为氧化层外表面水陆阱是引起气氛中有害杂质(NaCl、HF等)沾污,导致击穿电压蠕变的很本原因.提出了防止击穿电压蠕
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本文通过实验和理论分析,对击穿电压蠕变的机理进行了探讨.认为氧化层外表面水陆阱是引起气氛中有害杂质(NaCl、HF等)沾污,导致击穿电压蠕变的很本原因.提出了防止击穿电压蠕变的工艺方案.
In this paper, through experimental and theoretical analysis, the mechanism of breakdown voltage creep is discussed.It is considered that the surface water and land traps of the oxide layer are very contaminated by harmful impurities (NaCl, HF, etc.) in the atmosphere and lead to creep breakdown voltage Reason. Proposed to prevent breakdown voltage creep process options.
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