【摘 要】
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主要讨论了采用掩膜方法制备的栅极型薄膜电感,报告这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100 MHz～10 GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率
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主要讨论了采用掩膜方法制备的栅极型薄膜电感,报告这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100 MHz～10 GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130 nH、155 nH;电阻在6 GHz以下也保持平稳,分别为31Ω、51Ω,在这个频率以上,由于高频趋肤效应而有一定的增大;Q值在1GHz～6GHz之间在20以上,并且在6GHz附近分别达到最大值160和110。
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