新型压电步进式二维精密驱动器

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设计了新型压电步进式精密二维驱动器。以压电叠堆为驱动元件,在单体柔性结构上实现直线和旋转驱动二维精密驱动。同时利用独特的双侧对称箝位结构.保证工作的稳定性和准确性。进行了二维驱动器的有限元分析,通过大量试验研究,证明二维驱动器达到基本设计功能。试验结果表明:二维驱动器的旋转驱动分辨率达到0.45μrad,行程360°,速度达到0.04rad·s^-1时,扭矩可达0.2N·m;直线驱动分辨率40nm,行程20mm,速度l9.2mm·min^-1时,驱动力可达近10N,
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