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期刊论文
空调净化送风口的研制
空调净化送风口的研制
来源 :制冷与空调 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yingzi9252
【摘 要】
:
一个 15 m2的工艺房间,采用研制的净化送风口(一台),运行三十分钟后,整个工艺区测定结果:粒径≥0.5um,工作区静态悬浮粒子总平均浓度不大于10000粒/fr3,接近美联邦209B万级标准,工作区平均风速≥0.2 m/s.风机的电机
【作 者】
:
殷清海
黄翔
郭忠
【机 构】
:
西北纺织工学院,中国航天骊山微电子公司
【出 处】
:
制冷与空调
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
工艺区洁净度
净化送风口
悬浮粒子
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一个 15 m2的工艺房间,采用研制的净化送风口(一台),运行三十分钟后,整个工艺区测定结果:粒径≥0.5um,工作区静态悬浮粒子总平均浓度不大于10000粒/fr3,接近美联邦209B万级标准,工作区平均风速≥0.2 m/s.风机的电机功率0.45 kw,平均噪声≤65 dB.
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