有机铜薄膜的等离子体聚合研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a86406186
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
提供了一种用等离子体聚合制备金属- 有机化合物CuAA 薄膜的实验研究。指出CuAA薄膜随工艺条件的不同可呈现出不同的颜色和电性能,尤其是其电阻率变化范围可达6 - 7 个数量级。对所制备的CuAA薄膜进行了红外光谱分析和扫描电镜分析。 An experimental study on the preparation of CuAA films by metal-organic polymerization was provided. It is pointed out that the CuAA films exhibit different color and electrical properties depending on the process conditions. In particular, the resistivity of CuAA films can vary from 6 to 7 orders of magnitude. The CuAA films were prepared by infrared spectroscopy and scanning electron microscopy.
其他文献
一、前言在瑞士,部分预应力已于1968年纳入SIA标准N_r162。为此瑞士苏黎世联邦工业大学建筑力学和结构研究所(ETHZ)进行了理论和试验的探讨,以及其他方面的考虑。此后,绝大
1.前言国营45号线路沿着太平洋海岸延伸,连结仙台、八户、青森,是继纵贯内陆的4号线以后的又一条纵贯日本东北部的公路干线。这条线路对沿海城市具有相当重要的意义。织笠河
轻工业部财务价格司、《财会通讯》编辑部于1983年3月27日在山东省泰安市邀请部分轻工业部直属企业的财务科长和省、市(地)一轻、二轻厅(局)财务部门负责同志,就如何当好财
英国台卡检测有限公司最近所宣布的台卡检测引航系统(Dccca Survey Pilotage System),对船舶在狭水道中的航引操纵,有着良好的安全保证作用。这个引航系统,是以该公司的Hi—
迎接深亚微米设计的挑战Cadence DesignSystems公司Barry D.Bowen   随着设计逐渐向深亚微米领域转移,为设计者带来了一些重要的挑战。因为在此之前所展开的设计规划中,会遇到一些诸如不可预测的设计周期、
河南省公路学会于去年12月16日至20日在郑州举行成立大会。河南省、市、地交通部门和有关单位近百名代表参加了会议。在这次会议上,广泛地进行了学术交流。对如何搞好河南省
党的十二大和五届全国人大五次会议对我们财务会计工作者提出了一系列新的要求,广大财务会计工作者应当在新的形势下,为“发展生产,保障供给”理好财,管好家,为开创社会主义
所谓补强土,是法国人亨利维道(Henri vidal)发明的一种由土和补强材料结合而成的建筑材料。法语为补强土(Terre armee),英语为加筋土(Reinforced earth),日本语中除了称为“
养路现代化,是实现公路现代化的一个重要组成部分。因此,公路养护战线上,必须要有一支懂得公路建设技术,掌握养路知识的熟练技术工人队伍。目前养路工人队伍的基本情况是:绝
贵州省公路部门,从1977年至今的三年中,积极进行了公路桥梁的修建,现已连续建成了几座大、中桥,为发展省内交通与省际之间的交通,作出了贡献。 (一)金沙河大桥。在贵州省遵