磁控溅射法制备ZrAlYN涂层的结构和性能*

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采用磁控溅射技术在YG8硬质合金基体上分别沉积了ZrAIYN涂层和ZrAlN涂层,利用x射线衍射仪、扫描电子显微镜以及原子力显微镜研究了Y元素的添加对zrAlN涂层微观结构、断口和表面形貌的影响,同时对ZrAlYN和ZrAlN涂层的热稳定性和抗高温氧化性能进行了研究;采用纳米压痕技术对zrAlYN和劢AlN涂层的力学性能进行了比较。结果表明:Y元素的添加使ZrAlN涂层的微观结构发生了明显变化,从原来的(111)和(200)共同择优取向转变为(200)占主导;zrAlYN和zrAlN涂层的断口都呈非柱状结
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