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利用含硝酸盐的前体淀积原子层
利用含硝酸盐的前体淀积原子层
来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:buzi899
【摘 要】
:
在原子层淀积工艺中使用含金属硝酸盐的前体,形成例如金属、金属氧化物和金属氮化物等含金属的膜,这些膜具有原子突变界面和优异的均一性。
【出 处】
:
表面技术
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
金属硝酸盐
原子层
淀积
前体
金属氮化物
金属氧化物
突变界面
含金属
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在原子层淀积工艺中使用含金属硝酸盐的前体,形成例如金属、金属氧化物和金属氮化物等含金属的膜,这些膜具有原子突变界面和优异的均一性。
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