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用掩模分离法制备微型红外滤光片列阵的工艺研究
用掩模分离法制备微型红外滤光片列阵的工艺研究
来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong571
【摘 要】
:
介绍了在研制微型红外滤光片中将半导体器件制作工艺与基本PVD方法结合而成的掩模分离方法,及其制备微型滤光片和将几种滤光片集成在一起的工艺方法,报道了阶段性研究结果。
【作 者】
:
程实平
张凤山
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
:
红外与毫米波学报
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
掩模
微型滤光片
列阵
滤光片
maskmicro-filterarray
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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介绍了在研制微型红外滤光片中将半导体器件制作工艺与基本PVD方法结合而成的掩模分离方法,及其制备微型滤光片和将几种滤光片集成在一起的工艺方法,报道了阶段性研究结果。
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