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介绍了在研制微型红外滤光片中将半导体器件制作工艺与基本ＰＶＤ方法结合而成的掩模分离方法，及其制备微型滤光片和将几种滤光片集成在一起的工艺方法，报道了阶段性研究结果。
用掩模分离法制备微型红外滤光片列阵的工艺研究
【摘 要】
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介绍了在研制微型红外滤光片中将半导体器件制作工艺与基本ＰＶＤ方法结合而成的掩模分离方法，及其制备微型滤光片和将几种滤光片集成在一起的工艺方法，报道了阶段性研究结果。
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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1994年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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