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本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言时双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参数,并且在抛光机上得到了验证.
蓝宝石晶片抛光过程运动仿真及实验分析
【摘 要】
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本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言时双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参
【机 构】
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盐城工学院BD机制052班,盐城工学院机械工程学院,兴化祥盛光电子材料公司
【出 处】
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现代制造技术与装备
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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江苏省科技厅科技攻关项目;江苏省高校自然科学基金;江苏省大学生实践创新训练计划项目;盐城市科技局科技发展计划项目
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