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期刊论文
基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究
基于氦质谱检漏仪下的检漏技术研究
来源 :电子技术与软件工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong576
【摘 要】
:
本文介绍氦质谱法真空箱检漏技术的原理,以及在工业产品泄漏检测的实际应用效果,同时提出了提高检测限的方法途径。
【作 者】
:
黄文平
王成智
【机 构】
:
安徽皖仪科技股份有限公司
【出 处】
:
电子技术与软件工程
【发表日期】
:
2016年04期
【关键词】
:
氦质谱检漏仪
真空箱
漏率值
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本文介绍氦质谱法真空箱检漏技术的原理,以及在工业产品泄漏检测的实际应用效果,同时提出了提高检测限的方法途径。
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