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非晶硅晶化的检测仪器有很多，主要有扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪．采用上述检测仪器检测铝诱导非晶硅样品的场致晶化，讨论了各种检测手段对分析铝诱导非晶硅场致晶化情况的影响和意义．
铝诱导非晶硅场致晶化检测方法的比较
【摘 要】
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非晶硅晶化的检测仪器有很多，主要有扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪．采用上述检测仪器检测铝诱导非晶硅样品的场致晶化，讨论了各种检测手段对分析铝诱导非晶硅场致晶化
【机 构】
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韩山师范学院物理与电子工程系
【出 处】
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韩山师范学院学报(自然科学)
【发表日期】
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2006年6期
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