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制备了一种基于MEMS工艺的定向天线。以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积。这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送。本文中的天线厚度为1.5mm,可工作于10GHz频段。这使得其易于与微系统集成。文中也给出了仿真及实验的结果,并介绍了天线的加工过程。
基于MEMS工艺的异性材料定向天线（英文）
【摘 要】
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制备了一种基于MEMS工艺的定向天线。以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积。这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送。本文中的天线厚度为1.5m
【机 构】
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上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室,同济大学物理系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2008年3期
【基金项目】
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上海市科委重点基础研究项目资助（05JC14061）,微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助（9140C7903060706）
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