薄膜SrTiO3的制备及氧敏性能

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以Ti(OC4H9)4,SrCl3·6H2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法制备了SrTiO3和掺铁SrTiO3薄膜。通过电镜和X衍射分析了薄膜的结构,并分别比较了烧成温度和掺杂对钛酸锶氧敏性能的影响。
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