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采用射频溅射法制备了"纳米铁磁金属颗粒-半导体基体"Fe-In2O3复合颗粒膜,研究了颗粒膜磁特性随晶格结构的变化规律.实验结果表明,通过真空退火处理可改变Fe-In2O3复合颗粒膜中纳米Fe颗粒的尺寸大小;颗粒膜的比饱和磁化强度σs随Fe颗粒尺寸的减小而降低,矫顽力Hc随Fe颗粒尺寸的变化出现峰值,表现出磁性单畴颗粒的临界特性.