【摘 要】
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<正> 一、引言半绝缘 GaAs 是一种低损耗,高介电常数、适合于微波集成电路使用的介质材料,例如用做微带衬底。这些性质与 GaAs MESFET 器件优良的微波性能相结合,不管是模拟
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<正> 一、引言半绝缘 GaAs 是一种低损耗,高介电常数、适合于微波集成电路使用的介质材料,例如用做微带衬底。这些性质与 GaAs MESFET 器件优良的微波性能相结合,不管是模拟器件、还是高速开关,都第一次真正单片地找到解决微波集成电路的方法。所谓单片,指的是一种方法,在这种方法中,把所有的有源和无源电路元件以及连线都通过一定的淀积方法,例如外延生长、离子注入、溅射、蒸发以及其他方法加工在 GaAs 半绝缘衬底的本体或表面上。
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