论文部分内容阅读
本发明公开的制备P型氧化锌薄膜的方法是利用磁控溅射法，在磁控溅射过程中，以金属锌为磁控溅射的靶，在工作气体氩气中另外通入氮气或氯气和氧气作为反应气，使磁控溅射真空室压强为10^-1～-10^0Pa，氮气流量与氩气流量的比在1：10—1：1范围内，氧气流量与氩气流量的比在0：1～1：1范围内，进行磁控溅射镀膜，获得氮氧锌薄膜，再将氮氧锌薄膜在大气或氧气氛中进行热处理，热处理温度在300—500℃范围内，处理时间为O．5—5h，制得P型氧化锌薄膜。本发明方法原理简单，载流子浓度控制方便，可操作性好。