上海光机所激光纳米研究取得重要成果

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中科院上海光机所研制的“纳米精度激光激振测振仪”项目,在MEMS结构激光激振测振领域取得了重要成果,成功研制出一台具有自主知识产权的纳米精度激光激振测振仪样机。该样机的主要技术性能达到了同类产品的国际先进水平。
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