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以玻璃为实验靶材,研究了准分子激光直写刻蚀过程中靶材和光束焦点之间的相对位置与加工形状之间的关系.加工出的沟槽剖面形状均为锥形.当离焦量为负时,沟槽底部较为光滑,表面较宽,深度较小,锥度较大;当离焦量为正时,槽底部模糊,表面较窄,深度较大,锥度较小.
准分子激光直写加工形状与离焦量关系的研究
【摘 要】
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以玻璃为实验靶材,研究了准分子激光直写刻蚀过程中靶材和光束焦点之间的相对位置与加工形状之间的关系.加工出的沟槽剖面形状均为锥形.当离焦量为负时,沟槽底部较为光滑,表
【机 构】
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武汉理工大学光纤传感技术研究中心,武汉理工大学机电学院
【出 处】
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武汉理工大学学报
【发表日期】
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2003年8期
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