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描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m,色谱通道截面为矩形(宽100μm,深100μm),针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验,理论塔板数达到了4800,分离时间为185s。
基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制
【摘 要】
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描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m,色谱通道截面为矩形(宽100μm,深100
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2007年Z1期
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