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期刊论文
外环式减薄进给系统研究
外环式减薄进给系统研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:typhoon
【摘 要】
:
通过对减薄设备发展过程的研究,提出了一种由外环式磨削进给方式组成的外环式减薄系统.该系统可实现在减薄过程中对芯片磨削与研磨的最佳组合.
【作 者】
:
王仲康
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2004年7期
【关键词】
:
磨削进给
外环式进给
机械损伤层
加工应力
in-feed system
outside ring in-feed system ring
SSD
proces
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通过对减薄设备发展过程的研究,提出了一种由外环式磨削进给方式组成的外环式减薄系统.该系统可实现在减薄过程中对芯片磨削与研磨的最佳组合.
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