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本文从历史的角度总结了微机械技术的出现，发展的历程，它的发展动力和目前国际上竞相研究的概况。文章以１９９３年召开的第七届国际敏感器与执行器会议的报告为依据，介绍了微机械技术的最新进展与突破。
微机械技术正面临新突破 一
【摘 要】
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本文从历史的角度总结了微机械技术的出现，发展的历程，它的发展动力和目前国际上竞相研究的概况。文章以１９９３年召开的第七届国际敏感器与执行器会议的报告为依据，介绍了微机械技术的
【机 构】
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复旦大学
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1993年6期
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