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扫描力显微镜中超微力的探测方法
扫描力显微镜中超微力的探测方法
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ly2mm
【摘 要】
:
本文介绍了近十年来,各国科学家在研究扫描力显微镜的过程中所采用的各种超微力(10^-8~10^-10N)传感器的探测方法。评述了各种方法的灵敏度,抗振性,使用范围,操作方式和各自的优缺点
【作 者】
:
于建宏
黄文浩
【机 构】
:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
扫描力显微镜
超微力
探测
传感器
Scanning force microscope
Stiper-micro force
Detection
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本文介绍了近十年来,各国科学家在研究扫描力显微镜的过程中所采用的各种超微力(10^-8~10^-10N)传感器的探测方法。评述了各种方法的灵敏度,抗振性,使用范围,操作方式和各自的优缺点。并对最近出现的几种新的探测方法作了说明。
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