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在单晶硅表面制得花生酸锆hngmuir—Blodgett薄膜，对该薄膜在500℃条件下热处理30min，得到致密ZrO2薄膜。利用AFM，XPS，SEM对其结构和形貌进行表征，摩擦磨损试验结果表明，利用该方法制备的ZrO2薄膜表现出良好的减摩抗磨性能。
LB技术制备的ZrO2纳米薄膜摩擦学行为
【摘 要】
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在单晶硅表面制得花生酸锆hngmuir—Blodgett薄膜，对该薄膜在500℃条件下热处理30min，得到致密ZrO2薄膜。利用AFM，XPS，SEM对其结构和形貌进行表征，摩擦磨损试验结果表明，利用该方法
【机 构】
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河南大学特种功能材料重点实验室
【出 处】
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润滑与密封
【发表日期】
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2006年7期
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