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四探针电阻率测量仪广泛应用于半导体行业,是测量半导体材料电阻率的常用设备。本文针对不同样品测量时应注意的测量条件、适用的计算公式做了简要的说明,并对晶圆薄片的精密测量结果的不确定度评定做了比较详细的论述。
直排四探针法测量硅片电阻率及不确定度评定
【摘 要】
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四探针电阻率测量仪广泛应用于半导体行业,是测量半导体材料电阻率的常用设备。本文针对不同样品测量时应注意的测量条件、适用的计算公式做了简要的说明,并对晶圆薄片的精密
【机 构】
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中国计量科学研究院
【出 处】
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材料科学
【发表日期】
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2019年12期
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