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激光光热偏转成象法无损检测光学薄膜的激光损伤
激光光热偏转成象法无损检测光学薄膜的激光损伤
来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ilovelp222222
【摘 要】
:
介绍了应用激光光热偏转成象法无损检测光学薄膜激光损伤的基本原理,由此建立了实验检测装置,对光学薄膜表面的激光损伤进行了扫描检测,并以直观的灰度象显示.实验结果证明了
【作 者】
:
谈恒英
刘鹏程
施柏煊
【机 构】
:
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
:
光子学报
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
光学薄膜
激光损伤
光热偏转法
Optical thin film
Laser induced damage
Photothermal deflection
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介绍了应用激光光热偏转成象法无损检测光学薄膜激光损伤的基本原理,由此建立了实验检测装置,对光学薄膜表面的激光损伤进行了扫描检测,并以直观的灰度象显示.实验结果证明了激光光热偏转成象法检测光学薄膜激光损伤具有直观、有效、可确定损伤阈值的优点.
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