Tools performance evaluation for wafer manufacturing

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【摘要】

：

This article aims to develop an effective method to extract manufacturing inteligence for evaluating manufacturing tool performance to enhance yield and reduce

【作者】

：

柯顺魁

【机构】

：

201203,上海华力微电子有限公司上海

【出处】

：

数字化用户

【发表日期】

：

2018年8期

【关键词】

：

Tool performance evaluation Whitepixel Yield Wafer

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This article aims to develop an effective method to extract manufacturing inteligence for evaluating manufacturing tool performance to enhance yield and reduce potential loss.

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