【摘 要】
：
电阻率是多晶硅材料最重要的参数之一,通过高温扩散镍杂质到多晶硅中,利用四探针电阻测试仪、金相显微镜、扫描电镜（SEM）、电感耦合等离子发射光谱仪（ICP）、能谱分析（EDS）,X射线衍
【机 构】
：
三束材料改性国家重点实验室大连理工大学材料科学与工程学院
论文部分内容阅读
电阻率是多晶硅材料最重要的参数之一,通过高温扩散镍杂质到多晶硅中,利用四探针电阻测试仪、金相显微镜、扫描电镜（SEM）、电感耦合等离子发射光谱仪（ICP）、能谱分析（EDS）,X射线衍射仪（XRD）等设备,研究了镍对多晶硅电阻率的影响及机制。研究结果表明：镍杂质使N型多晶硅电阻率增加,使P型多晶硅电阻率减小;高温冷却后,大量的镍与硅形成NiSi2析出相在多晶硅表面析出,并对硅中的铁有吸附作用,由于铁含量少而形成Fe0.42Si2.67新相且在表面析出,这些硅化物会引起电阻率的变化。
其他文献
由于在研究离子液体对汽油进行氧化／萃取脱硫时,常常因为离子液体在其中存在的溶解度影响着脱硫效率,所以研究离子液体在汽油中的溶解度已成为一个重要的方向。但是离子液体的
目的:观察子宫肌瘤剜除术在妇科临床中的应用效果。方法:选择重庆市合川区人民医院于2015年8月11日至2017年7月20日期间收治的120例子宫肌瘤患者的临床资料进行回顾性分析,患
针对现代防空导弹网络化作战特点,基于防空导弹网络化作战体系的结构及作战流程,提出了防空导弹网络化作战体系生存能力的概念与内涵,研究并分析了其生存能力的指标体系及相
<正>随着大数据时代的到来,互联网、物联网、云计算等现代技术的发展,人们的生活、工作和思维方式发生着深刻的变化,也催化着传媒行业的转型和发展,使传统的电视媒体发生一系
随着国内对燃料油及化工产品需求量的增加，从国外进口原油的数量逐年增加。中东原油油源稳定、价格便宜、运输方便，将来一定会成为我国新的重要原油供应基地。中东原油的一大特
<正>2012年12月26日,中宣部发出了《关于贯彻党的十八大精神,切实改进文风的意见》(下文简称《意见》),向中央新闻媒体明确提出"带头改进文风"的要求,力避"长空假",落实"短实
自从分子逻辑的布尔逻辑被阐述以来，分子逻辑器件以其优于传统电子逻辑器件的诸多优势得到了广泛的发展，首先我们可以通过改变构成分子逻辑器件的分子的结构来改变分子逻辑器件
目的比较X线、CT和MRI在早期强直性脊柱炎(AS)骶髂关节病变诊断中的价值。方法54例早期强直性脊柱炎骶髂关节病变患者均行X线、CT和MRI检查,比较三者的诊断率和影像学表现。
目的研究蛋白结合硫酸吲哚酚对红细胞寿命的影响及作用机制。方法以4%白蛋白结合不同浓度的硫酸吲哚酚孵育0.4%红细胞悬液48 h,采用流式细胞仪检测红细胞体积,Annexin-V-FITC
本文通过对某指挥方舱在跑车途中机柜振动的测试分析,探讨了机柜减振器的减振效果,为提高机柜的抗振性能提供了参考依据。